[发明专利]非晶碳膜、形成非晶碳膜的方法、具有非晶碳膜的导电性部件以及燃料电池用隔板有效
| 申请号： | 200780018780.0 | 申请日： | 2007-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN101448740A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 伊关崇;山田由香;中西和之;大岛正;森广行;堀江俊男;铃木宪一;北原学 | 申请（专利权）人： | 株式会社丰田中央研究所 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;C23C16/26;C23C16/50;H01B1/04;H01B5/14;H01B13/00;H01M8/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的非晶碳膜是包含碳和氢的非晶碳膜，其中该非晶碳膜包含30原子％以下且大于0原子％的氢，并且当将碳的总量作为100原子％时，具有sp2杂化轨道的碳的存在量为70原子％以上且小于100原子％。通过控制氢、Csp3等的含量以增加包含Csp2的结构，从而对非晶碳膜赋予导电性。通过利用包含如下一种或多种气体的反应气体的等离子体CVD方法，可以形成该非晶碳膜，所述一种或多种气体选自包含具有sp2杂化轨道的碳的碳环化合物气体、和包含具有sp2杂化轨道的碳以及硅和/或氮的杂环化合物气体。通过在基材的表面上形成非晶碳膜可得到导电性部件。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶碳膜 形成 方法 具有 导电性 部件 以及 燃料电池 隔板 | ||
【主权项】：
1. 一种非晶碳膜，其包含碳和氢，并且其特征在于：所述非晶碳膜包含30原子％以下且大于0原子％的氢，并且当将碳的总量作为100原子％时，具有sp2杂化轨道的碳的存在量为70原子％以上且小于100原子％。
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