[发明专利]常温接合的器件、器件制造方法以及常温接合装置有效
| 申请号： | 200780019998.8 | 申请日： | 2007-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101454113A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 内海淳;后藤崇之;井手健介;船山正宏;高木秀树 | 申请（专利权）人： | 三菱重工业株式会社 |
| 主分类号： | B23K20/00 | 分类号： | B23K20/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供常温接合的器件、器件的制造方法以及常温接合装置。该器件在第一衬底和第二衬底的界面形成生成接合强度的中间材料，在该中间材料层内存多种金属元素。根据溅射时的运转参数，该多种金属元素的界面元素存在比率为0.07以上。这样，将难接合性材料组成的衬底(例如，SiO2类材料衬底)通过常温接合，以实用的接合强度进行接合，从而得到器件。 | ||
| 搜索关键词： | 常温 接合 器件 制造 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1、一种器件，其具备：至少一种金属、第一衬底、经由所述至少一种金属通过常温接合与所述第一衬底接合的第二衬底，其中，所述至少一种金属的界面元素存在比率为0.07以上。
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