[发明专利]表面检查设备无效
| 申请号： | 200780020228.5 | 申请日： | 2007-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN101460833A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 藤森义彦;石井裕和 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01B11/30;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 车 文;安 翔 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种表面检查设备(1)包括利用线偏振光(L1)来照明形成有重复图案的晶片(10)的表面的照明光学系统(30)；保持晶片(10)的对准台(20)；拾取来自晶片(10)表面的反射光的图像的拾取光学系统(40)；存储通过拾取光学系统(40)拾取的图像的图像存储单元(51)；对存储在图像存储单元(51)中的图像执行预定的图像处理并检测重复图案的缺陷的图像处理单元(52)；以及输出通过图像处理单元(52)处理的图像的结果的图像输出单元(53)。第二偏振板(43)的传输轴的方位设定为相对于第一偏振板(32)的传输轴成45度倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检查 设备 | ||
【主权项】：
1. 一种表面检查设备，包括：照明装置，用于利用第一线偏振光来照明其上形成有重复图案的待检查基板的表面；拾取装置，用于拾取来自所述待检查基板的表面的反射光的图像；以及图像显示装置，用于显示由所述拾取装置所拾取的图像，其中，从来自所述待检查基板的表面的反射光中提取第二线偏振光的偏振元件安装在所述待检查基板与所述拾取装置之间，并且所述拾取装置拾取由包含所述第二线偏振光的光所产生的图像，以及所述偏振元件被设定成使得在垂直于所述第二线偏振光的传播方向的平面中的所述第二线偏振光的振动方向相对于在垂直于所述第一线偏振光的传播方向的平面中的所述第一线偏振光的振动方向倾斜的角度大于0度而小于90度。
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