[发明专利]红外传感器有效
申请号: | 200780020773.4 | 申请日: | 2007-05-23 |
公开(公告)号: | CN101460816A | 公开(公告)日: | 2009-06-17 |
发明(设计)人: | 内田雄一;山中浩;辻幸司;桐原昌男;吉原孝明;西岛洋一 | 申请(专利权)人: | 松下电工株式会社 |
主分类号: | G01J5/10 | 分类号: | G01J5/10;G01J5/20;H01L27/14;H01L31/09 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王玉双;郑特强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 为提高热绝缘性,将热红外感测元件(30)承载在多孔材料制成的传感器支座(40)上,并通过在基板上凸出的锚固柱(52)使该热红外感测元件向上离开基板(10)。传感器支座形成有一对共面的梁(42),所述梁上承载有从感测元件(30)延伸出的引线(32)。引线(32)和梁(42)固定到锚固柱(52)的上端,以将感测元件(30)保持在基板(10)上方的预定高度。梁(42)和引线(32)通过分子间附着作用而彼此结合,以使感测元件(30)以及传感器支座(40)能够一起支撑到锚固柱(52)上。 | ||
搜索关键词: | 红外传感器 | ||
【主权项】:
1. 一种红外传感器,包括:基板(10;10A);传感器单元(100;100A),该传感器单元包括:热红外感测元件(30;30A);传感器支座(40;40A),其由多孔材料制成,并且在该传感器支座上承载所述热红外传感器;一对梁(42;42A),其由多孔材料制成,并从所述传感器支座整体地延伸到所述基板,用以将所述传感器支座支撑为向上离开所述基板的顶面;和一对端子焊盘(50;50A),其形成在所述基板的顶面上;以及密封罩(200),其固定到所述基板,以在所述密封罩与所述基板之间提供用于容置所述传感器单元的气密性密封空间,所述密封罩具有窗口,入射的红外线经过该窗口投射到所述传感器单元的所述热红外感测元件上;所述热红外感测元件具有一对引线(32;32A),各所述引线支撑在各所述梁的顶部上以沿着所述梁延伸,从而与各对应的所述端子焊盘电连接;其中,所述梁(42;42A)在与所述传感器支座相同的平面上延伸,并离开所述基板的上表面,以在所述梁上承载各自的引线(32;32A);所述传感器单元还包括一对锚固柱(52;52A),各所述锚固柱从各所述端子焊盘(50;50A)上竖立,并且各所述锚固柱的上端固定到各对应的所述引线(32;32A)的末端,以使所述感测元件(30;30A)与所述传感器支座(40;40A)一起以离开所述基板的顶面的方式支撑在所述基板上,并使所述感测元件经由所述锚固柱电连接到所述端子焊盘(50;50A);各所述锚固柱(52;52A)的上端嵌入各对应的所述梁中,以使各所述锚固柱的周边被各对应的所述梁(42;42A)完全包围。
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