[发明专利]液滴涂布装置有效
| 申请号： | 200780020779.1 | 申请日： | 2007-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101460257A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 中岛吉纪;樋口馨;田村寿宏 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 马淑香 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种液滴涂布装置，包括：具有供基板(10)进行载放的载放面(11a)的基座(11)、以可相对于基座(11)沿箭头A方向移动的形态安装在基座(11)上的臂部(4)、以及以可沿箭头B方向移动的形态安装在上述臂部(4)上并朝载放在上述载放面(11a)上的上述基板(10)排出液滴的多个液滴排出部(6)。上述液滴排出部(6)安装在上述臂部(4)的第一横梁部(41)的安装面(41b)以及上述臂部(4)的第二横梁部(42)的安装面(42b)上。 | ||
| 搜索关键词： | 液滴涂布 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种液滴涂布装置，其特征在于，包括：基座，该基座具有供基板进行载放的载放面；横梁部，该横梁部与所述载放面相对，沿所述载放面的一个方向延伸，并以可沿所述载放面的另一个方向相对于所述基座相对移动的形态安装在所述基座上；以及多个液滴排出部，该多个液滴排出部以可沿所述一个方向移动的形态安装在所述横梁部上，并朝所述基板排出液滴进行涂布，所述横梁部具有沿所述一个方向延伸的多个平面，所述液滴排出部安装在所述多个平面中的一个平面上。
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