[发明专利]氧化物烧结体、靶、用它制得的透明导电膜以及透明导电性基材有效
| 申请号： | 200780020927.X | 申请日： | 2007-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101460425A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 中山德行;阿部能之 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C23C14/34;H01B5/14 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供以氧化锌为主要成分，进一步含有镁的氧化物烧结体、用其加工而成的靶、用其通过直流溅射法或离子电镀法制得的耐化学试剂性优良的小电阻透明导电膜、以及透明导电性基材。通过以下方案达成：含有氧化锌和镁，并且，镁的含量以Mg/(Zn+Mg)的原子数比计为0.02～0.30的氧化物烧结体；进一步含有镓和/或铝，其含量以(Ga+Al)/(Zn+Ga+Al)的原子数比计大于0并为0.08以下，并且，镁的含量以Mg/(Zn+Ga+Al+Mg)的原子数比计为0.02～0.30的氧化物烧结体；用这些氧化物烧结体加工制得的靶；用该靶通过溅射法或离子电镀法在基板上形成的透明导电膜等。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 烧结 透明 导电 以及 导电性 基材 | ||
【主权项】：
1. 一种氧化物烧结体，其特征在于含有氧化锌和镁，并且镁的含量以Mg/(Zn+Mg)的原子数比计为0.02～0.30。
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