[发明专利]用于制作太阳能电池的等离子沉积设备和方法

摘要

一种用于制作太阳能电池的等离子沉积设备包括：具有用于支撑至少一个衬底的纵轴线的输送机；至少两个模块，每个模块具有用于在至少一个衬底上沉积反应产物层的至少一个等离子炬，至少一个等离子炬位于离至少一个衬底一段距离的位置；用于容纳输送机和该至少两个模块的室；以及排气系统。在另一实施例中，用于制作太阳能电池的等离子沉积设备包括：用于支撑衬底的部件；用于供应反应物的部件；用于在衬底上沉积产物的等离子炬部件，等离子炬部件位于离衬底一段距离的位置；以及用于相对于衬底振荡等离子炬部件的部件。

主权项

1. 一种用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，包括：用于支撑衬底的部件；用于供应反应物的部件；以及用于在所述衬底上沉积产物的等离子炬部件，所述等离子体炬部件位于离所述衬底一段距离的位置。