[发明专利]薄膜制造装置及薄膜制造装置用内部块

摘要

本发明提供一种能够通过零部件的共用化实现降低成本和提高成膜效率的薄膜制造装置。该薄膜制造装置(10)，通过设置在真空槽(12)内部的内部块(17)对反应空间(31)的容积进行规定，从而在不改变真空槽尺寸的情况下仅通过改变内部块(17)的内径尺寸达到反应空间(31)的容积的最佳化。这样，采用共用的真空槽(12)使不同尺寸的多种基板(W)成膜就成为可能。而且，由于能够将按照处理基板的尺寸而准备的装置构成零部件的数量的增加抑制到最小限度，因此，可以实现零部件成本的降低，并且在简化组装作业、产品检查作业和调整作业的同时，还可以实现优异的成膜效率和稳定成膜。

主权项

1. 一种薄膜制造装置，包括：真空槽、封闭上述真空槽的上部的盖体、支承被处理基板的载台、以及与上述载台对向地安装在上述盖体上的气体压头，其特征在于，具有内部块，该内部块配置在上述真空槽和上述盖体之间，内置有加热源，而且对上述载台和上述气体压头之间的反应空间的容积进行规定。