[发明专利]用于形成太阳能电池板的系统结构及其方法无效
| 申请号： | 200780021730.8 | 申请日： | 2007-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN101495671A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 栗田真一;竹原尚子;苏海尔·安维尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C16/00 | 分类号： | C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王安武;南 霆 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于通过使用集群工具由N型掺杂硅、P型掺杂硅、本征非晶硅和本征微晶硅形成太阳能电池板的方法和设备。所述集群工具包括至少一个装载锁定腔(102)和至少一个传送腔(106)。多个处理腔(104)连接到所述传送腔。可以出现少达5个多达13个处理腔。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 太阳能 电池板 系统 结构 及其 方法 | ||
【主权项】：
1、一种集群工具设备，包括：多个六边形传送腔；一个或多个缓冲腔，其与所述六边形传送腔相邻并连接在所述六边形传送腔之间；一个或多个P型掺杂硅沉积腔，其连接到所述六边形传送腔中的一者；一个或多个N型掺杂硅沉积腔，其连接到所述六边形传送腔中的一者；以及多个本征硅沉积腔，其连接到所述多个六边形传送腔，所述本征硅沉积腔的数目大于所述P型掺杂硅沉积腔的数目以及所述N型掺杂硅沉积腔的数目之和。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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