[发明专利]用于感应电子束的传感器和系统有效
| 申请号： | 200780022299.9 | 申请日： | 2007-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN101473244A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 安德斯·克里斯蒂安松;拉尔斯·奥克·内斯隆德;汉斯·哈尔斯坦迪斯;沃纳·哈格;库尔特·霍姆;本诺·齐格利戈 | 申请（专利权）人： | 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;B65B55/08;G01R19/00;G01T1/16 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余 刚;尚志峰 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器(10)，用于感应由电子束发生器沿对象区域内朝向对象的路径发射的电子束强度，该电子束通过逸出窗(24)逸出该发生器。该传感器(10)特征在于其包括位于该路径内的并且连接到电流检测器的至少一个导电层(28)的至少一个区域(26)，以及其中至少一个导电层(28)的每个所述区域(26)通过防护罩(32)基本上与彼此、与周围环境和与该逸出窗(24)隔开，所述防护罩(32)形成在该逸出窗(24)上。本发明还涉及包括所述传感器的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 感应 电子束 传感器 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种传感器(10，10′)，用于感应由电子束发生器(8，8＂)沿对象区域(4，4＂)内朝向对象(16，16＂)的路径产生的电子束(6，6＂)的强度，该电子束(6，6＂)通过逸出窗(24，24＂)逸出该发生器(8，8＂)，其特征在于该传感器(10，10′)包括位于该路径内并连接到电流检测器(34)的至少一个导电层(28，28′)的至少一个区域(26，26′)，该至少一个导电层(28，28′)的每个所述区域(26，26′)通过防护罩(32，32′)基本上与彼此、与周围环境和与该逸出窗隔开，所述防护罩(32，32′)形成在该逸出窗(24，24′)上并且至少所述防护罩的与每个所述区域(26，26′)接触的部分由绝缘材料制成。
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