[发明专利]电极结合方法和元件安装装置无效
| 申请号： | 200780023113.1 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101473707A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 稻本吉将;中达八郎;井上和弘;辻裕之 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/26 | 分类号： | H05K3/26;H01L21/60 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 顾峻峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 根据本发明的电极结合方法包括：等离子体清洁步骤，用大气压等离子体(8)辐射诸如半导体器件之类的元件(1)和基底(10)中的至少一个的被清洁的电极表面(3)从而进行清洁；惰性气体氛围保持步骤，在大气压等离子体(8)的辐射结束之前，用第一惰性气体(4)覆盖被清洁的电极表面(3)及其附近，并在此后还保持该状态；以及结合步骤，在惰性气体氛围保持步骤结束之前，结合元件(1)的电极和基底(10)上的电极。电极表面(3)由此进行等离子体清洁，而没有损坏待结合到基底(10)上的元件(1)的可能性，在结合电极时保持该清洁状态，以提供高结合力和高可能性的结合状态。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 结合 方法 元件 安装 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种电极结合方法，包括：等离子体清洁步骤，用大气压等离子体(8)辐射元件(1)和基底(10)中的至少一个的被清洁的电极表面(3)从而进行清洁；惰性气体氛围保持步骤，在所述大气压等离子体(8)的辐射结束之前，用第一惰性气体(4)覆盖被清洁的所述电极表面(3)及其附近，并在此后还保持该状态；以及结合步骤，在所述惰性气体氛围保持步骤结束之前，结合所述元件(1)的电极和所述基底(10)上的电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社，未经松下电器产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780023113.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
