[发明专利]制造多维校准模型的方法

摘要

本发明的方法用于生成多维校准模型，该模型对于影响设备的测量结果的特性改变是稳定的，该方法包括以下步骤：形成用于计算修正关系的样本集；在引入改变之前和之后测量每个样本的主要特性；借助多维回归分析方法对引入改变之前所获得的样本的主要特性的测量结果与引入改变之后所获得的同一样本的主要特性的测量结果进行比较；以及确定该修正关系。本发明的方法还包括以下步骤：随后选择表现出已知次要特性的校准样本集；在对影响设备的测量结果的至少一个特性引入改变之前和之后测量校准样本集中的每个样本的主要特性；借助所获得的修正关系将校准样本集的主要特性的测量结果变换成与引入改变之后通过该设备执行并且由此根据该设备的改变后的状态，用引入改变之前该设备上获得的校准样本集的主要特性的测量结果进行了调节的测量相对应的形式；根据校准样本集的主要特性的初始和调节后测量结果的总和来计算多维校准模型；以及通过确定根据该多维校准模型的校准的定量验证来验证所述模型。

主权项

1、一种形成多变量校准模型的方法，该多变量校准模型对于影响设备的测量结果的特性变化而言是稳定的，该方法包括以下步骤：选择具有已知次要特性的校准样本集；在所述设备上测量每个校准样本集的主要特性；至少对影响所述设备的测量结果的其中一个特性进行人为改变；在如此改变后的状态下，在所述设备上至少测量一个样本的与所述改变之前的事实不同的主要特性，形成用于计算修正关系的样本集，在所述改变之前和之后在所述设备上测量该样本集中的每个样本的主要特性，并且借助多变量回归分析方法，将所述改变之前在仪器上获得的该样本集的多个样本的主要特性的测量结果与进行了改变后的状态下所述设备上获得的这多个样本的主要特性的测量结果进行比较，确定修正关系；借助所获得的修正关系将所述校准样本集的主要特性的测量结果变换成与所述改变之后所述设备上的测量相对应的形式；用所述改变之前在所述设备上获得的所述校准样本主要特性的测量结果来补充所述校准样本集的以这种方式被修正成所述设备的改变后状态下的主要特性测量结果，通过所述校准样本集的主要特性的初始测量结果与修正后测量结果的传递来计算所述多变量校准模型，并且进行基于它来确定校准验证的定量参数的检查。