[发明专利]等离子体处理装置、等离子体处理方法及光电转换元件无效
| 申请号： | 200780023692.X | 申请日： | 2007-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN101480111A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 中野孝纪;三宫仁 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/31;C23C16/24;H01L31/04;C23C16/503 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在相同的等离子体反应腔室(101)中进行至少两个等离子体处理步骤的情况下，按照每个步骤中等离子体处理所需的电源选择CW交流电源或脉冲调制交流电源。因此，即使在等离子体处理条件由于装置构造而受到限制的步骤中，也可以进行更多种的等离子体处理。而且，通过使用脉冲调制的交流电源，均匀的等离子体可以在电极之间产生，并且提供在电极之间的功率可以减小。由于可以减小等离子体处理速率，所以处理的质量控制变得容易。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 方法 光电 转换 元件 | ||
【主权项】：
1. 一种等离子体处理装置，包括：等离子体反应室；第一阴极-阳极对，布置在所述等离子体反应室内部，并包括第一阴极；以及第一电源供应单元，在连续波形交流电源和脉冲调制交流电源之间切换第一输出电源，并向所述第一阴极提供所述第一输出电源。
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