[发明专利]表面检查设备有效
| 申请号： | 200780025323.4 | 申请日： | 2007-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN101484775A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 渡部贵志 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01N21/956;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 车 文;张建涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于观察待检查物体的边缘部分的表面检查设备，包括：照明装置，其将照明光照射到边缘部分；和观察装置，其形成利用照明光照明的边缘部分的观察范围的像。该照明装置射出第一照射光束和第二照射光束，所述第一照射光束成近似直角地入射到所述边缘部分，用于补偿像的亮度，而所述第二照射光束侧向倾斜地入射到所述边缘部分的观察范围，用于生成依据观察范围的表面状态的阴影。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检查 设备 | ||
【主权项】：
1. 一种用于观察待检查物体的边缘部分的表面检查设备，包括：照明装置，其将照明光照射到所述边缘部分；以及观察装置，其形成利用所述照明光照明的所述边缘部分的观察范围的像，其中所述照明装置构造成射出第一照射光束和第二照射光束，所述第一照射光束成近似直角地入射到所述边缘部分，用于补偿所述像的亮度，而所述第二照射光束侧向倾斜地入射到所述边缘部分的所述观察范围，用于生成依据所述观察范围的表面状态的阴影。
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