[发明专利]激光加工方法无效
| 申请号： | 200780025390.6 | 申请日： | 2007-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN101484269A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 筬岛哲也 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/06;B23K26/40;B28D5/00;C03B33/09;H01L21/301;B23K101/40 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 当沿着切断预定线在加工对象物的厚度方向上形成多列改质区域时，精度良好地形成最接近第1面的第1改质区域、以及最接近第2面的第2改质区域。本实施方式的激光加工方法中，将聚光点对准于加工对象物(1)的内部并照射激光，沿着加工对象物(1)的切断预定线(5)，在加工对象物(1)的厚度方向上形成作为切断的起点的改质区域(M1～M6)。该改质区域(M1～M6)中，最接近背面(21)的改质区域(M6)以背面(21)的位置为基准而形成，最接近表面(11a)的改质区域(M1)以表面(11a)的位置为基准而形成。于是，即使加工对象物(1)的厚度产生偏差，发生变化，也抑制了改质区域(M6)的位置及改质区域(M1)的位置因加工对象物(1)的厚度的变化而发生偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种激光加工方法，其特征在于，通过将聚光点对准于板状的加工对象物的内部并照射激光，从而沿着所述加工对象物的切断预定线，在所述加工对象物的厚度方向上形成作为切断的起点的多列改质区域，包括：在所述加工对象物上，以激光入射的第1面的位置为基准，形成所述改质区域中最接近所述第1面的第1改质区域的工序；以及在所述加工对象物上，以与所述第1面相对的第2面的位置为基准，形成所述改质区域中最接近所述第2面的第2改质区域的工序。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浜松光子学株式会社，未经浜松光子学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780025390.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
