[发明专利]电子束蒸发装置无效
| 申请号： | 200780025606.9 | 申请日： | 2007-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN101484966A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | G·马陶什;H·弗拉斯克;J·-S·利比格;V·柯克霍夫;J·-P·海因斯;L·克洛斯 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍弗实用研究促进协会 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/305 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李永波;梁 冰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子束蒸发装置，其包括真空加工室(2)、产生借此加热待蒸发物料(5)的电子束(7)的轴向电子枪(6)、和设置在物料(5)和待镀膜基材(3)之间的隔挡(9)，该隔挡具有至少一个蒸发孔(10)，物料蒸气穿过该蒸发孔到达该基材(3)，其中，该隔挡(9)包括磁系统(14)，借助该磁系统，该电子束(7)可经过蒸发孔(10)被转向待蒸发物料(5)。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种电子束蒸发装置，包括真空加工室(2)、产生用于加热待蒸发物料(5)的电子束(7)的轴向电子枪(6)、和设置在待蒸发物料(5)和待镀膜基材(3)之间的隔挡(9)，该隔挡具有至少一个蒸发孔(10)，物料蒸气穿过该蒸发孔到达该基材(3)，其特征在于，该隔挡(9)包括磁系统(14)，借助该磁系统，该电子束(7)可经过该蒸发孔(10)转向到该待蒸发物料(5)。
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