[发明专利]制造溅射靶的方法和所制造的靶产品无效
| 申请号： | 200780026952.9 | 申请日： | 2007-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN101490290A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·G·劳恩斯巴赫;泰勒斯·W·汉森 | 申请（专利权）人： | 豪梅公司 |
| 主分类号： | C22C19/07 | 分类号： | C22C19/07 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张建涛;车 文 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制造溅射靶的方法，其包括以下步骤：熔融金属靶材料，以使熔融靶材料几乎不过热的方式控制熔融靶材料的温度，将熔融靶材料引入具有内壁的模具中，内壁以期望的靶的形状形成模腔，以及按一定速度从模具抽取热量使熔融靶材料固化，以固化靶材料，以形成在整个靶上均匀地具有蜂窝状非枝晶的微结构的溅射靶。本发明提供了一种溅射靶，其包含在整个靶上均匀地具有基本上等轴的、蜂窝状非枝晶的微结构的金属靶材料。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 溅射 方法 产品 | ||
【主权项】：
1. 一种制造溅射靶的方法，其包括以下步骤：熔融金属靶材料，以使熔融靶材料几乎不过热的方式控制熔融靶材料的温度，将熔融靶材料引入具有内壁的模具中，该内壁以所期望的靶的形状形成模腔，以及按一定速度从模具抽取热量使熔融靶材料固化，以固化靶材料，以形成在整个靶上均匀地具有蜂窝状非枝晶的微结构的溅射靶。
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