[发明专利]陶瓷的制备方法、由此制得的陶瓷及其尤其是作为溅射靶的用途

摘要

本发明提供了由具有较高熔点的粉末形式的无机基体材料制备陶瓷的方法，该方法包括将该无机基体材料粉末与一个第二无机组分进行混合的步骤，该第二无机组分也是粉末形式并作为该无机基体材料的掺杂剂。该掺杂剂由对所述无机基体材料具有掺杂效果的单独一种无机材料、或由至少两种无机材料的混合物组成。所述方法包括在高温下进行的一个烧结步骤。所获得的陶瓷因其高密度而可有利地用作靶元件。由这些陶瓷制得的薄膜和电极具有特别有利的性质。

主权项

1. 由一种粉末形式的无机基体材料制备陶瓷的一种方法(所述粉末具有一种粒径，其特征为在10纳米与50微米之间的d50，更优选为在20纳米与30微米之间的d50)，所述粉末具有一个高熔点，它优选高于300℃，所述方法包括：- 一个混合步骤，将(优选为粉状形式的)该无机基体材料粉末与也是处于粉末形式的一种第二无机组分进行混合，该第二无机组分是作为该无机基体材料的一种掺杂剂，所述掺杂剂是由对该无机基体材料具有一种掺杂效果的一种单独的无机材料或至少两种无机材料的一个混合物组成；以及- 一个烧结步骤，所述烧结步骤在一个高温下进行，所述高温优选为高于800℃，更优选为高于1000℃；所述方法的特征在于：在制备所述粉末的混合物的过程中，施加在该粉末上的力是小于或等于5kg/m2，优选小于1kg/m2。