[发明专利]用于沉积电绝缘层的方法有效
| 申请号： | 200780027414.1 | 申请日： | 2007-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN101490305A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | J·拉姆;B·威德里格;C·沃尔拉布 | 申请（专利权）人： | 奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫） |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 石克虎;林 森 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 一种借助于真空涂覆在至少一个工件上制备导电性差的层特别是绝缘层的方法，其中电弧放电在电弧源的至少一个阳极和至少一个阴极之间于含反应性气体的气氛中运行，在与阴极电连接的靶表面上不产生或仅产生小的基本上垂直于靶表面的外磁场以辅助蒸发过程，通过另外的涂覆源的表面的再涂覆度小于10％，或该磁场由包括至少一个具有类似于靶周边的几何形状的轴向极化线圈的磁体系产生。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 绝缘 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种借助于真空涂覆在至少一个工件上制备导电性差的层、特别是绝缘层的方法，其中电弧放电在电弧源的至少一个阳极和至少一个阴极之间于含反应性气体的气氛中运行，其特征在于，在与阴极电连接的靶表面上仅产生基本上垂直于靶表面的小的外磁场以辅助蒸发过程，该外磁场包括垂直分量Bz以及相关的更小的径向或平行于表面的分量Br，其中向由至少一个基本呈轴向极化的线圈组成的具有类似于靶周边几何形状的磁系统施加励磁电流。
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