[发明专利]多孔膜的前体组合物及其制备方法、多孔膜及其制作方法、以及半导体装置

摘要

本发明涉及含有选自式Si(OR¹)₄和R_a(Si)(OR²)_4-a(式中，R¹表示1价的有机基团，R表示氢原子、氟原子或1价的有机基团，R²表示1价的有机基团，a为1～3的整数，R、R¹和R²可以相同或不同。)所示的化合物、热解性有机化合物、起催化作用的元素、和尿素等的前体组合物。对由该前体组合物得到的多孔膜照射紫外线后，与疏水性化合物发生气相反应，使用得到的多孔膜，得到半导体装置。

主权项

1.多孔膜的前体组合物，其特征在于，含有选自下述通式(1)所示的化合物(A)和下述通式(2)所示的化合物(B)的至少1种化合物，Si(OR¹)₄   (1)R_a(Si)(OR²)_4-a  (2)上述式(1)和(2)中，R¹表示1价的有机基团，R表示氢原子、氟原子或1价的有机基团，R²表示1价的有机基团，a为1～3的整数，R、R¹和R²相同或不同；和在250℃以上发生热解的热解性有机化合物(C)；和选自电负性2.5以下的两性元素、离子半径以上的元素和原子量130以上的元素中的至少1种元素(D)；以及化合物(E)，该化合物(E)在90℃～200℃的温度范围内热解，且通过该热解生成胺类，在该热解温度以下，该化合物(E)的水溶液和/或水与醇的混合溶液的pH处于6.5～8的范围内。