[发明专利]降低双束雷射处理系统中相干串音的方法有效
| 申请号： | 200780028086.7 | 申请日： | 2007-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN101495903A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 道格拉斯·尔·荷姆葛雷;芦可伟;菲利普·米雀尔·康克林 | 申请（专利权）人： | 伊雷克托科学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许 静 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在一目标样品工作表面处形成具有受控稳定性的两道雷射处理射束的方法与系统包含沿着分离的第一射束路径与第二射束路径来传播且相互相干(coherent)的第一雷射射束与第二雷射射束(130、140)，它们被结合(170)以实施一光学特性调整。所述经结合的雷射射束被分离(190)成第三雷射射束与第四雷射射束(192、194)，它们沿着分离的射束路径传播并且包含个别的第三主射束分量与第四主射束分量(192l)，并且所述第三雷射射束与第四雷射射束中其中一者产生一泄漏分量，所述泄漏分量与所述第三雷射射束与第四雷射射束中另一者的主射束分量(192m)以相互时间相干的方式来共同传播。经由声光调变(150、160)频率偏移或是经由在所述两道射束之中并入一光学路径长度差(404、504)便会降低所述泄漏分量及与所述泄漏分量共同传播的另一主射束分量之间的相互时间相干性的效应。 | ||
| 搜索关键词： | 降低 雷射 处理 系统 相干 串音 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在一目标样品的工作表面处形成具有受控稳定性的两道雷射处理射束的方法，其包括：提供沿着分离的第一射束路径与第二射束路径传播且相互相干的第一雷射射束与第二雷射射束；在一光学组件串中的一共同射束路径部份之中刻意结合所述相互相干的第一雷射射束与第二雷射射束，用以实施所述第一雷射射束与第二雷射射束所共同的光学特性调整；将所述先前经过结合的第一雷射射束与第二雷射射束分离成沿着个别的第三射束路径与第四射束路径来传播的第三雷射射束与第四雷射射束，所述第三雷射射束与第四雷射射束包含个别的第三主射束分量与第四主射束分量，并且所述第三雷射射束与第四雷射射束中其中一者产生一泄漏分量，所述泄漏分量与所述第三雷射射束与第四雷射射束中另一者的主射束分量以相互时间相干的方式来共同传播；以及降低所述泄漏分量及与所述泄漏分量共同传播的所述第三主射束分量与第四主射束分量中另一者之间的相互时间相干性的效应，以便传送与所述第三射束及第四射束对应的稳定的第一处理射束与第二处理射束至所述工作件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于伊雷克托科学工业股份有限公司，未经伊雷克托科学工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780028086.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有偏振分离的微结构的反射性偏振器
- 下一篇：用于嵌件成型的多层光漫射膜
