[发明专利]具有静电激活及释放的模拟干涉式调制器装置无效
| 申请号： | 200780028351.1 | 申请日： | 2007-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN101495900A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 马尼什·科塔里;利奥儿·科格特;杰弗里·B·桑普塞尔 | 申请（专利权）人： | IDC公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孟 锐 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微机电系统(MEMS)装置包括：第一电极；与所述第一电极电绝缘的第二电极；及与所述第一电极及所述第二电极电绝缘的第三电极。所述MEMS装置还包括将所述第一电极与所述第二电极分离的支撑结构及位于第一位置与第二位置之间且可在所述第一位置与所述第二位置之间移动的反射元件。当所述反射元件在所述第一位置中时其与所述装置的一部分接触且当在所述第二位置中时不与所述装置的所述部分接触。当所述反射元件在所述第一位置中时，在所述反射元件与所述部分之间产生粘合力。施加到所述第一电极、所述第二电极及所述第三电极的电压至少部分地降低或抵消所述粘合力。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 静电 激活 释放 模拟 干涉 调制器 装置 | ||
【主权项】：
1、一种微机电系统(MEMS)装置，其包含：第一电极；第二电极，其与所述第一电极电绝缘；第三电极，其与所述第一电极及所述第二电极电绝缘；支撑结构，其将所述第一电极与所述第二电极分离；反射元件，其位于第一位置与第二位置之间且可在所述第一位置与所述第二位置之间移动，当所述反射元件在所述第一位置中时其与所述装置的一部分接触且当在所述第二位置中时不与所述装置的所述部分接触；其中当所述反射元件在所述第一位置中时，在所述反射元件与所述部分之间产生粘合力，且其中施加到所述第一电极、所述第二电极及所述第三电极的电压至少部分地降低或抵消所述粘合力。
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