[发明专利]特征的增强成像

摘要

用于通过热转印对特征的图案进行成像的方法，包括控制多个光束的强度。对特征到边缘部分进行成像的光束强度可以设置为不同于对特征的内部部分进行成像的光束强度。可以控制对特征的本地和远离边缘进行成像的光束具有不同的强度。用于对特征的图案进行成像的设备可以包括配置用于为多通道成像头的通道维持强度信息的控制器。所述控制器使用所述强度信息设置某些通道的强度，这些通道对应于所述成像头的当前长条中被成像的特征的边缘部分。

主权项

1. 一种用于通过激光诱发热转印对特征进行成像的方法，所述方法包括：在包括供体元件和接收元件的衬底上，在沿着对应于扫描线的扫描方向上扫描多个独立可控的光束，每个光束可操作地用于在所述接收元件上形成对应的图像像素；通过操作连续的光束组对特征进行成像，以将图像形成材料从所述供体元件转印到所述接收元件；以及在对特征进行成像时，控制第一边缘子组和第二边缘子组的强度以具有不同于内部子组的强度的强度，所述第一子组为对应于沿着所述特征的第一边缘延伸的特征的第一部分的一个或多个光束构成的子组，所述第二子组为对应于沿着所述特征的第二边缘延伸的特征的第二部分的一个或多个光束构成的子组，所述内部子组为对应于所述特征的内部部分的一个或多个光束构成的子组。