[发明专利]清洁部件、带清洁功能的搬送部件、基板处理装置的清洁方法有效
| 申请号： | 200780029948.8 | 申请日： | 2007-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN101500718A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 菅生悠树;寺田好夫;宇圆田大介;并河亮;吉田良德;前野洋平 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在清洁部位不产生污染、并能够简便、可靠、充分地除去微细的异物、特别是亚微米级的异物的清洁部件。并且，本发明提供一种具有该清洁部件的带清洁功能的搬送部件、以及使用该带清洁功能的搬送部件的基板处理装置的清洁方法。本发明的清洁部件具有清洁层，所述清洁层在表面具有多个柱状结构的凸部，该柱状结构的凸部的长径比为5以上。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 部件 功能 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种清洁部件，其具有清洁层，所述清洁层在表面具有多个柱状结构的凸部，其特征在于，该柱状结构的凸部的长径比为5以上。
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