[发明专利]带隔壁图案基板及其制造方法无效
| 申请号： | 200780030967.2 | 申请日： | 2007-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN101506695A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 神永纯一;三浦洋之;池田武司;久保祐治;青木英士 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蒋 亭;苗 堃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供能够形成没有混色、露白不良、并且各像素平坦且均匀的着色层的带隔壁图案基板及其制造方法。本发明提供一种带隔壁图案基板，其具有基板、以及在所述基板上的规定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁图案，所述隔壁的上部表面采用飞行时间型二次离子质谱仪(TOF-SIMS)进行负离子分析时，F-碎片离子(M/Z＝19)的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为25％～60％。 | ||
| 搜索关键词： | 隔壁 图案 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种带隔壁图案基板，其特征在于，具有基板、以及在所述基板上的规定位置上形成的由含有氟化合物的材料形成的隔壁图案，所述隔壁的上部表面，采用飞行时间型二次离子质谱仪TOF-SIMS进行负离子分析时，M/Z＝19的F-碎片离子的检测强度占全部负离子的检测强度的比率为25％～60％。
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