[发明专利]用于在处理系统中处理工件的设备和方法有效
| 申请号： | 200780031329.2 | 申请日： | 2007-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN101506066A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·P·法西奥 | 申请（专利权）人： | 诺信公司 |
| 主分类号： | B65G47/22 | 分类号： | B65G47/22 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张建涛;车 文 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于在处理系统中处理工件的设备和方法。设置在处理系统的处理腔室(40)内部的工件竖直升降机构(200)适合将工件(55)往复于电极(24)的基座部(286)地转移。基座部(286)配置成在处理期间支撑工件(55)。工件竖直升降机构(200)包括在第一位置与第二位置之间相对于基座部(286)可移动的工件固定器(290)以便于将工件(55)从工件固定器(290)转移到基座部(286)，在第一位置上，工件固定器(290)将工件(55)与基座部(286)保持成非接触的关系，在第二位置上，基座部(286)凸出到工件固定器(290)之上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 系统 工件 设备 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种用于处理工件的设备，所述设备包括：包括上电极和下电极的处理腔室，所述下电极包括配置成在处理期间支撑所述工件的基座部；和在所述处理腔室中的工件竖直升降机构，所述工件竖直升降机构包括设置在所述上电极和所述下电极之间的竖直可动构件，并且所述竖直可动构件配置成相对于所述基座部在第一位置和第二位置之间竖直移动，以便将所述工件从所述竖直可动构件转移到所述基座部，在所述第一位置中，所述竖直可动构件将所述工件与所述基座部保持成非接触的关系，在所述第二位置中，所述基座部凸出到所述竖直可动构件的上方。
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