[发明专利]形成氧化锌涂覆制品的方法有效
| 申请号： | 200780031959.X | 申请日： | 2007-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN101553601A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | M·B·阿布拉姆斯;R·Y·科罗特科夫;G·S·西尔弗曼;R·史密斯;J·L·斯特里克 | 申请（专利权）人： | 皮尔金顿集团有限公司;阿肯马公司 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40;C23C16/453;C03C17/245 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吕彩霞;孙秀武 |
| 地址： | 英国默*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本文中描述和要求保护的发明涉及一种在基体上沉积氧化锌涂层的化学气相沉积法，该方法通过将两种气态前体气流输送至基体表面，并使气态前体气流在基体表面混合足够短的时间，从而以大于5纳米/秒的沉积速度形成氧化锌涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 氧化锌 制品 方法 | ||
【主权项】：
1、一种在基体上沉积氧化锌涂层的化学气相沉积法，该方法包括：(a)形成由含锌化合物构成的第一前体气流；(b)形成由水构成的第二前体气流；(c)将所述第一和所述第二前体气流输送至接近待涂覆的玻璃基体表面的位置；和(d)将所述第一前体气流和所述第二前体气流混合在一起以形成前体混合物，并使基体表面与所述前体混合物接触，该表面的温度足以驱动所述含锌化合物和所述水之间的反应；其中，将所述第一前体气流与所述第二前体气流混合在一起足够短的时间，以使氧化锌涂层以大于5纳米/秒的沉积速度形成于表面上。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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