[发明专利]用于位置分辨地确定在物体成像的图像平面中电磁场的相位和幅度的方法和装置无效
申请号: | 200780032095.3 | 申请日: | 2007-08-03 |
公开(公告)号: | CN101512309A | 公开(公告)日: | 2009-08-19 |
发明(设计)人: | S·珀利茨;S·韦森伯格;S·福尔斯特;T·谢鲁布尔;U·斯特罗斯纳;H·格罗斯 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司SMS有限责任公司 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00;G02B27/46;G03F1/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 李少丹;刘春元 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及用于位置分辨地确定物体成像的图像平面中电磁场的相位和幅度的一种方法。在此图像被生成,其方式是该物体利用相干光线被照射并在一个图像平面中被成像,光线在该图像平面中位置分辨地按像素被探测,其中针为每个像素确定光线的强度,按图像点被存储,并把这些图像点分配给一个图像。首先生成一个第一图像,然后生成至少另一图像,其中光线的相位和/或幅度以给定的方式被改变,并且每个图像的所述改变都与其他图像的改变不相同。由所生成的图像位置分辨地确定物体在图像平面中成像的相位。本发明还涉及用于执行该方法的一种装置。在这种方法中光线的相位和/或幅度通过在物体与图像平面之间的一个位置频率过滤器而被改变。 | ||
搜索关键词: | 用于 位置 分辨 确定 物体 成像 图像 平面 电磁场 相位 幅度 方法 装置 | ||
【主权项】:
1. 用于位置分辨地确定在物体成像的图像平面中电磁场的相位和幅度的方法,其中-生成图像,其方式是a. 该物体利用照明装置的相干的光线被照射,并在图像平面中被成像,b. 光线在该图像平面中位置分辨地按像素被探测,c. 其中针对每个像素确定光线的强度,将其按图像点存储,并且把这些图像点分配给图像,-首先生成一个第一图像,以及然后生成至少另一图像,其中该光线的相位和/或幅度以预给定的方式被改变,并且所述改变对于每个图像都与对于其余图像的改变不相同,以及-由所生成的图像来位置分辨地确定在该图像平面中物体成像的相位,-其特征在于,-光线的相位和/或幅度在物体与图像平面之间的瞳孔平面中通过位置频率过滤而被改变。
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