[发明专利]用于加工用于控制流体流的部件的方法以及按该方法加工的部件有效
| 申请号： | 200780032495.4 | 申请日： | 2007-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101512200A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | S·平特;T·皮尔克 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | F16K7/00 | 分类号： | F16K7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;梁 冰 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于加工控制流体流的微机械结构部件的方法以及按照这种方法加工的结构部件。用于加工控制流体流的微机械结构部件(1)的方法包括下列步骤：通过在载体层(2)的表面(2a)上构成位于薄膜下面的从相同表面开始的空穴(3，3a)来加工可振动薄膜(4，4a)，通过中间层(6)覆盖载体层(2)，形成中间层(6)结构并通过封闭微机械结构部件(1)的盖层(11)而覆盖中间层(6)。其特征在于，这样形成中间层(16)的结构，使得在薄膜(4，4a)上产生流体阀(14，17)的密封部件(8，18)，它封闭和/或包围在盖层(11)中构成的阀孔(12，22)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 控制 流体 部件 方法 以及 | ||
【主权项】：
1. 一种用于加工控制流体流的微机械结构部件(1)的方法，包括下列步骤：-在载体层(2)的表面(2a)上通过构成位于薄膜下面的、从相同表面侧开始的空穴(3，3a)来加工可振动薄膜(4，4a)，-通过中间层(6)覆盖所述载体层(2)，-形成所述中间层(6)的结构，且-通过封闭所述微机械结构部件(1)的盖层(11)来覆盖所述中间层(6)，其特征在于，这样形成所述中间层(16)的结构，使得在所述薄膜(4，4a)上产生流体阀(14，17)的密封部件(8，18)，其封闭和/或包围在所述盖层(11)中形成的阀孔(12，22)。
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