[发明专利]具有输送带电极的EUV等离子体放电灯有效
| 申请号： | 200780033134.1 | 申请日： | 2007-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN101513135A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | J·琼克斯;J·W·内夫;R·普鲁默 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘 鹏;谭祐祥 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及用于通过电操作放电产生EUV辐射和/或软X射线的等离子体放电灯。该所提出的灯包括至少两个电极，所述电极设置在放电空间中，彼此相距一定距离，以便形成允许所述电极之间的气体介质中的等离子体(14)的点火的间隙。金属施加设备将金属施加到所述电极的表面。这些电极由被驱动来将所述金属运送到所述间隙的输送带(15)形成，其中对于这些电极中的每一个，在所述间隙处提供整形器元件(13)以确保在该间隙处所述电极具有适当的形状和距离。能量束设备(4)适于将能量束引导到所述间隙中的所述表面中的至少一个上，至少部分地蒸发所述施加的金属，从而产生所述气体介质。利用所提出的等离子体放电灯，可以以紧凑的灯设计实现高的输入功率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 输送带 电极 euv 等离子体 电灯 | ||
【主权项】：
1. 用于通过电操作放电产生EUV辐射和/或软X射线的等离子体放电灯，包括：-至少两个电极，所述电极设置在放电空间中，彼此相距一定距离，以便形成允许所述电极之间的气体介质中的等离子体(14)的点火的间隙，-金属施加设备，其将金属施加到所述电极的表面，-所述电极由被驱动来将所述金属运送到所述间隙的输送带(15)形成，-其中对于这些电极中的每一个，在所述间隙处提供在其上移动输送带(15)的整形器元件(13)以确保在该间隙处所述电极具有适当的形状和距离，以及-能量束设备(4)，其适于将能量束引导到所述间隙中的所述表面中的至少一个上，至少部分地蒸发所述施加的金属，从而产生所述气体介质。
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