[发明专利]用于控制电容性湿度传感器的灵敏度和值的方法和装置有效
| 申请号： | 200780033379.4 | 申请日： | 2007-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN101512331A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | Y·M·阿利米;R·A·达维斯 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;H01G4/255 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 柯广华;王忠忠 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 湿度传感器及其形成方法。提供衬底，在衬底上沉积多个湿度感测元件以形成其湿度传感器。每个湿度感测元件一般包括关联的特定寄生电容。该特定寄生电容被用于降低和/或控制与湿度传感器相关联的灵敏度和总电容值，而不增加湿度传感器和/或湿度传感器元件(例如电容器)的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 电容 湿度 传感器 灵敏度 方法 装置 | ||
【主权项】：
1. 用于控制湿度传感器的方法，包括：提供衬底；在所述衬底上沉积多个湿度感测元件以形成湿度传感器，其中，所述多个湿度感测元件中的各湿度感测元件包括特定寄生电容；以及利用所述特定寄生电容降低和/或控制与所述湿度传感器相关联的灵敏度和总电容值，而不增加所述多个湿度感测元件的大小。
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