[发明专利]图案尺寸测定装置和图案面积测定方法无效
| 申请号： | 200780034004.X | 申请日： | 2007-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101523155A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 松本纯 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案尺寸测定装置和图案面积测定方法，能够以良好的再现性和良好的精度测定图案的面积。图案面积测定方法包含如下步骤：取得图案的图像数据的步骤；分割成部分图案的步骤；计算各部分图案的面积的步骤；以及合计各部分图案的面积，计算图案的面积的步骤。也可以是分割成部分图案的步骤包括如下步骤：将图案分割成具有规定值的中心角的扇形的部分图案的步骤；按照各部分图案，生成与所述图案的中心和图案的边缘相交的线上的线性轮廓曲线的步骤；生成微分轮廓曲线的步骤；以及根据线性轮廓曲线和微分轮廓曲线检测部分图案的边缘位置，根据中心位置和边缘位置计算半径的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 尺寸 测定 装置 面积 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种图案尺寸测定装置，其特征在于，该图案尺寸测定装置具有：一边在试件上扫描一边照射电子束的单元；通过所述电子束的照射，根据从形成有图案的所述试件上发生的电子的电子量，取得该图案的图像数据的单元；以及将所述图案分割成多个部分图案，计算各部分图案的面积，合计该各部分图案的面积，计算所述图案的面积的面积测定单元。
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