[发明专利]感光性树脂组合物有效
申请号: | 200780035467.8 | 申请日: | 2007-11-08 |
公开(公告)号: | CN101517486A | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 木下健宏;佐藤光;柳井隆之 | 申请(专利权)人: | 昭和高分子株式会社 |
主分类号: | G03F7/033 | 分类号: | G03F7/033;C08F8/14;C08F290/12;G03F7/004;H01L21/027 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 贾成功 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于提供一种感光性树脂组合物,所述感光性树脂组合物不仅具有可以用于光刻工序的显影特性,而且能形成耐热性、密合性、透明性均优异的固化涂膜,其式含有聚合物成分(A)和光聚合性单体(B)而形成的感光性树脂组合物,聚合物成分(A)是含有以在分子中具有2个以上羟基的聚合性单体(a-1)和在分子中具有碳数6~20的可具有交联结构的脂环式骨架的聚合性单体(a-2)为必须的单体成分的聚合物。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】:
1、一种感光性树脂组合物,其是含有聚合物成分(A)和光聚合性单体(B)而形成的感光性树脂组合物,其特征在于,聚合物成分(A)是含有以在分子中具有2个以上羟基的聚合性单体(a-1)和在分子中具有碳数6~20的可具有交联结构的脂环式骨架的聚合性单体(a-2)为必须的单体成分而形成的聚合物。
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