[发明专利]闸阀

摘要

提供一种调节衬底的加载和卸载的闸阀。该闸阀包括：支架，该支架围绕安装在真空腔室的闸门并包括垂直地安装在闸门相对两侧上的导向轨道；压迫构件，该压迫构件包括沿导向轨道上下移动的固定板，将固定板与密封板互连的至少一个轴销；安装在固定板内各轴销之间的管子，该管子对密封板加力，使用膨胀力来调节闸门；气缸，其安装在支架的一侧上并提升和下降压迫构件；以及导向构件，其将压迫构件的两个相对端互连，当压迫构件通过气缸上升和下降时，导向构件能使压迫构件的两个相对两端执行同步操作。

主权项

1.一种闸阀，所述闸阀安装在真空腔室内并调节衬底的加载和卸载，所述闸阀包括：支架，所述支架围绕真空腔室的闸门并包括垂直地安装在所述闸门相对侧上的导向轨道；压迫构件，所述压迫构件包括：沿所述导向轨道上下移动的固定板；将连所述固定板与密封板互连的至少一个轴销；安装在所述固定板内各轴销之间的管子，所述管子对所述密封板加力，使用膨胀力来调节所述闸门；气缸，所述气缸安装在支架的一侧上并提升和下降所述压迫构件；以及导向构件，所述导向构件将所述压迫构件的相对端互连，当所述压迫构件通过所述气缸上升和下降时，所述导向构件能使所述压迫构件的相对端执行同步操作。