[发明专利]功能材料在基材上形成图案的方法无效
申请号: | 200780035972.2 | 申请日: | 2007-09-07 |
公开(公告)号: | CN101517484A | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | G·B·布朗谢特;李喜现;G·D·杰科克斯 | 申请(专利权)人: | E.I.内穆尔杜邦公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 朱黎明 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供一种在基材上形成功能材料的图案的方法。该方法使用具有带凸起表面的浮雕结构的弹性压模,该弹性压模的弹性模量至少为10兆帕。将功能材料和液体的液体组合物施用在浮雕结构上,除去液体在凸起表面上形成膜。弹性压模将功能材料从凸起表面转移至基材,在基材上形成功能材料的图案。该方法适合于制造用于电子器件和元件的微电路。 | ||
搜索关键词: | 功能 材料 基材 形成 图案 方法 | ||
【主权项】:
1.一种在基材上形成功能材料的图案的方法,该方法包括:a)提供具有带凸起表面的浮雕结构的弹性压模,该弹性压模的弹性模量至少为10兆帕;b)将包含功能材料和液体的组合物施用在浮雕结构上;c)从浮雕结构上的组合物充分除去液体,以至少在凸起表面形成功能材料的薄膜;和d)将功能材料从凸起表面转移至基材。
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