[发明专利]具有双阈值电压的基于多晶体管的非易失性存储单元无效
申请号: | 200780036189.8 | 申请日: | 2007-09-26 |
公开(公告)号: | CN101523580A | 公开(公告)日: | 2009-09-02 |
发明(设计)人: | 米切尔·斯洛特布姆;米切尔·J·范杜仑;纳德尔·阿基勒;罗伯图斯·T·F·范沙耶克;阿尔穆德纳·韦尔塔 | 申请(专利权)人: | NXP股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/336 | 分类号: | H01L21/336;H01L29/792;G11C16/04;H01L21/8247;H01L27/115;H01L21/28;H01L29/788 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈 源;张天舒 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种布置在半导体衬底(1)上的基于多晶体管的非易失性存储单元(M1)包含至少一个存取晶体管(AT1;AT2;AT2’;AT2”)和至少一个存储晶体管(TM2a;TM2b;TM2c;TM2d)。所述至少一个存取晶体管是“常断”晶体管,并且包含第一扩散区和第二扩散区(S1,S2)、存取沟道区(R1)和存取栅极(AG)。存取沟道区在第一扩散区和第二扩散区之间。所述至少一个存储晶体管包含第三扩散区和第四扩散区(S2,S3)、沟道区(R2)、电荷俘获组件(01-N-02)和控制栅极(CG)。沟道区在第三扩散区和第四扩散区之间,并且电荷俘获组件位于沟道区之上,而控制栅极位于电荷俘获组件之上。半导体衬底为第一导电类型。至少一个存储晶体管被提供了具有在零伏以上的上限和在零伏以下的下限的存储阈值电压窗。 | ||
搜索关键词: | 具有 阈值 电压 基于 多晶体 非易失性 存储 单元 | ||
【主权项】:
1. 一种布置在半导体衬底(1)上的基于多晶体管的非易失性存储单元(M1),其包含:至少一个存取晶体管(AT1;AT2;AT2’;AT2”)和至少一个存储晶体管(TM2a;TM2b;TM2c;TM2d);所述至少一个存取晶体管包含第一扩散区和第二扩散区(S1,S2)、存取沟道区(R1)和存取栅极(AG),其中存取沟道区布置在第一扩散区和第二扩散区之间;所述至少一个存储晶体管包含第三扩散区和第四扩散区(S2,S3)、沟道区(R2)、电荷俘获组件(01-N-02)和控制栅极(CG);所述沟道区布置在第三扩散区和第四扩散区之间,电荷俘获组件布置在所述沟道区之上并用于存储电荷,控制栅极布置在电荷俘获组件之上;所述半导体衬底为第一导电类型;所述至少一个存取晶体管为“常断”晶体管;所述至少一个存储晶体管被提供了存储阈值电压窗,存储阈值电压窗具有在零伏以上的上限和在零伏以下的下限。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于NXP股份有限公司,未经NXP股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200780036189.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造