[发明专利]质量流量控制器

摘要

本发明提供一种质量流量控制器，该质量流量控制器在不牺牲相对于流量设定值变化的跟踪速度的前提下，即使发生压力变动也可抑制流量变动，而可采用可能发生串扰等扰动的系统。本发明的质量流量控制器包含：控制部(5)，由规定算式计算流量控制阀的开度控制信号并加以输出，该规定算式至少包含有作为参数的流量测定值与流量设定值；及压力传感部(4)，检测流量传感部(2)的上游侧或下游侧的流体的压力，输出表示此压力值的压力检测信号；且该控制部(5)的该算式在下列期间内互不相同：自该流量设定值发生超过规定量以上的变化的时间点起的规定期间即变化期间，与除此以外的期间即稳定期间；至少在该稳定期间，作为该算式的参数，进一步包含有该压力值。

主权项

1.一种质量流量控制器，包含：流量传感部，用来测定在流路内流动的流体流量，并将表示此测定值的流量测定信号输出；流量控制阀，设置在此流量传感部的上游侧或下游侧；控制部，由规定的算式计算流量控制阀的开度控制信号并加以输出，所述算式至少包含有所述流量测定信号所表示的流量测定值与目标值即流量设定值，来作为其参数；及压力传感部，检测所述流量传感部的上游侧或下游侧的所述流体的压力，并输出表示此压力值的压力检测信号；且所述控制部使所述算式在下列两段期间内互不相同：自所述流量设定值发生超过规定量以上的变化的时间点开始的规定期间即变化期间，与除此以外的期间即稳定期间；又至少在所述稳定期间，所述算式的参数还包含有所述压力值。