[发明专利]自动测试和特征化数据分析方法和装置

摘要

一种对配置为安装在等离子工艺系统中的组件进行测试的方法。该方法包括提供ATAC(自动测试和特征化)夹具，该夹具包括：系统控制软件包(SCS)，代表生产系统控制软件；数据管理器模块，配置为通过计算机网络从数据库中取得规范数据；测试管理器模块，配置为执行为测试该组件设计的测试组；SCS接口引擎，配置为向该SCS提供该测试组；及数据分析模块，配置为提供由计算机实现的数据分析的工具，从而分析测试组件时得到的测试数据。该方法还包括将该ATAC夹具与该组件耦合，以使得该ATAC夹具中的SCS能够利用该测试组和至少一部份规范数据测试该组件。

主权项

一种对配置为安装在等离子工艺系统的第一组件进行测试的方法，所述等离子工艺系统在生产期间利用生产系统控制软件进行控制，该方法包含：提供ATAC(自动测试和特征化)夹具，所述ATAC夹具至少包括：第一系统控制软件包(“第一SCS”)，其代表所述生产系统控制软件，数据管理器模块，其配置为通过计算机网络，从第一数据库中取得规范数据，测试管理器模块，其配置为利用所述第一SCS执行为测试所述组件设计的测试组，SCS接口引擎，其配置为向所述第一SCS提供至少所述测试组，数据分析模块，其配置为提供计算机实现数据分析工具给用户，以分析在测试所述第一组件时取得的测试数据，将所述ATAC夹具与所述第一组件耦合，以使所述ATAC夹具中的所述第一SCS能够利用该测试组和至少一部份所述规范数据对该第一组件进行测试，其中，熄掉测试所述第一组件时不存在的所述等离子工艺系统的缺失组件以模拟所述缺失组件，从而允许使用该第一SCS在模拟环境中对该第一组件进行测试，就像在测试该第一组件的时候该缺失组件是存在的一样。