[发明专利]用于干燥基体的设备和方法无效
申请号: | 200780038374.0 | 申请日: | 2007-09-11 |
公开(公告)号: | CN101522371A | 公开(公告)日: | 2009-09-02 |
发明(设计)人: | M·瓦丽斯;S·哈比逊;J·麦克安提 | 申请(专利权)人: | 奇拉泰克斯公司 |
主分类号: | B24B49/00 | 分类号: | B24B49/00 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵蓉民 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 提供一种用于干燥工件的系统。该系统包括腔,该腔含有在腔的第一部分内的清洗流体并且还包含干燥区域。该系统包括湿转换臂,该湿转换臂被配置成支撑被置于所述清洗流体中的多个工件。也包括干转换臂,该干转换臂被配置成当湿转换臂被抬起时接收来自湿转换臂的所述多个工件。干转换臂和湿转换臂被连接到公共驱动机构,其中该公共驱动机构包括第一发动机和第二发动机。第一发动机被配置成驱动湿转换臂和干转换臂。第二发动机被配置成控制湿转换臂和干转换臂之间的分离量。提供用于干燥工件的转换臂和方法。 | ||
搜索关键词: | 用于 干燥 基体 设备 方法 | ||
【主权项】:
1. 用于干燥工件的系统,其包括:腔,该腔包含在所述腔的第一部分内的清洗流体和在所述腔的第二部分内的干燥区域;湿转换臂,该湿转换臂被配置成支撑被置于所述清洗流体中的多个工件;以及干转换臂,该干转换臂被配置成当所述湿转换臂被抬升朝向所述清洗流体和所述干燥区域的分界面时接收来自所述湿转换臂的所述多个工件,所述干转换臂和所述湿转换臂被连接到公共驱动机构,其中所述公共驱动机构包括第一发动机和第二发动机,所述第一发动机被配置成驱动所述湿转换臂和所述干转换臂,所述第二发动机被配置成控制所述湿转换臂和所述干转换臂之间的分离量。
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