[发明专利]容量减少的载物台,传送,装载端口,缓冲系统

摘要

依照本发明的实施方案中的一种半导体工件加工系统具有至少一件用于加工半导体工件的加工工具，一种用于承载至少一件加工工具的容器，容器中的半导体工件可以在至少一种加工工具之间往返传送，以及一种延长的初级传送单元，该单元界定了运动方向。此初级传送单元具有与容器相接口的部件，初级传送单元支撑容器并沿着此运动方向在至少一件加工工具之间往返传送容器。当这个容器由此初级传送单元支撑的时候，这个容器沿着此运动方向以基本恒定的速度被基本连续得传送。一种与至少一件加工工具相连接的次级传送单元，该次级单元在至少一件加工工具之间往返传送容器。

主权项

1.一种半导体工件加工系统包括：至少一种用于加工半导体器件的加工工具；一种容器，这种容器可以承载至少一个半导体工件，其中的半导体工件可在至少一个加工工具之间往返传送；一种延长的初级传送单元，这个传送单元界定了一个运动方向，并且具有与容器接口的零件，这个传送单元支撑并沿着运动方向在至少一个加工工具之间输运容器，当容器由初级传送单元支撑时，这个容器以一个基本恒定的速度在这个运动方向上被基本连续得传送；并且一种与至少一件加工工具连接的次级传送单元，这个传送单元用于在至少一件加工工具之间传送容器，此次级传送单元与初级传送单元分开并且不同于初级传送单元，同时为了将容器向/从初级传送单元上加载卸载，这个次级传送单元与初级传送单元相接口。