[发明专利]显影液的浓度调节方法、调制装置和显影液无效
| 申请号： | 200780040488.9 | 申请日： | 2007-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN101563654A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 高崎纪博;杉本建二;棚桥亮太;板东嘉文;能谷敦子;谷口克人 | 申请（专利权）人： | 三菱化学工程株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/32;G03D3/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 邸万杰 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种显影液的浓度调节方法和调制装置，其用于调节在光致抗蚀剂显影工序中使用的碱性显影液的碱浓度，从而能够进行高品质的显影处理。在显影液的浓度调节方法中，测定显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度，按照能够发挥使显影处理后获得的CD值成为一定的值这样的溶解能力的碱浓度与碳酸盐浓度的预先制定的关系，调节碱浓度。另外，显影液的调制装置包括：调制槽；向显影工序供给显影液的供给管线；回收已用过显影液的回收管线；将新显影液原液供给至调制槽的原液供给管线；检测显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度的浓度计；和按照特定的关系控制显影液原液的供给的控制装置。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 浓度 调节 方法 调制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种显影液的浓度调节方法，用于调节在光致抗蚀剂显影处理中使用的碱性显影液的碱浓度，其特征在于：测定显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度，按照能够发挥使显影处理后获得的CD值成为一定的值这样的溶解能力的碱浓度与碳酸盐浓度的预先制定的关系，调节碱浓度。
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