[发明专利]用于蚀刻透明和导电氧化物层的可印刷介质有效
申请号: | 200780040494.4 | 申请日: | 2007-10-05 |
公开(公告)号: | CN101600779A | 公开(公告)日: | 2009-12-09 |
发明(设计)人: | W·斯托库姆;A·库拜尔贝克 | 申请(专利权)人: | 默克专利股份有限公司 |
主分类号: | C09K13/06 | 分类号: | C09K13/06;H01L21/306 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 贾成功 |
地址: | 德国达*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及用于太阳能电池制造工艺中的具有改善了的性能的新型可印刷蚀刻介质。它们是对应的含有颗粒的组合物,通过该组合物可以高度选择性地蚀刻最细的线和结构而不破坏或影响相邻表面。 | ||
搜索关键词: | 用于 蚀刻 透明 导电 氧化物 可印刷 介质 | ||
【主权项】:
1.蚀刻糊剂形式的用于蚀刻透明和导电氧化物表面和层的可印刷、可分配的蚀刻介质,其包含:a)磷酸,b)至少一种溶剂,c)相对颗粒直径为20nm-80nm和BET比表面积为40-100m2/g的石墨和/或炭黑,d)任选的增稠剂,和e)任选的添加剂,例如消泡剂、触变剂、流动控制剂、脱气剂和粘合促进剂。
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