[发明专利]光波导基板的制造方法有效
| 申请号： | 200780041570.3 | 申请日： | 2007-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN101535887A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 吉野隆史 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/377 | 分类号： | G02F1/377 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过在单畴化的铁电体单晶基板的一个主面上所设置的梳形电极和另一个主面上所设的均匀电极之间施加电压，从而形成周期极化反转构造(9)，去除梳形电极。接着在基板(18)上形成光波导(20)。使光波导(20)的光强度中心(P1)离开梳形电极的前端位置(P0)。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种光波导基板的制造方法，用于形成具有形成有周期极化反转构造的光波导的光波导基板，其特征在于，具有：通过在单畴化的铁电体单晶基板的一个主面上所设置的梳形电极上施加电压，从而形成周期极化反转构造的电压施加工序；去除上述梳形电极的电极去除工序；以及，在上述铁电体单晶基板形成上述光波导的光波导形成工序，使上述光波导的光强度中心P1的向上述一个主面的投影位置P2离开上述梳形电极的前端的向上述一个主面的投影位置P0。
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