[发明专利]用于光电薄膜制造的卷至卷电镀

摘要

一种卷至卷系统用于在柔性箔通过从供给卷轴打开和缠绕在卷取卷轴上而前进经过系统的单元时在该柔性箔上形成用于太阳能电池的吸收体结构。柔性箔的表面首先在调节单元中进行调节以便形成活化表面。包括铜、镓和铟层的前体堆垛通过利用用于每个层的单独电镀单元而电镀在活化表面上。前体层在系统的退火单元中与Se和S中的至少一个进行反应。

主权项

1.一种用于在连续柔性工件前进经过系统的单元时在该连续柔性工件的前表面上形成用于太阳能电池的吸收体结构的系统，该系统包括：调节单元，用于调节连续柔性工件的前表面以便形成活化表面部分，其中，该活化表面部分有基本上沿连续柔性工件的一致活性表面，用于电镀；第一电镀单元，用于通过当连续柔性工件前进经过第一电镀站时在连续柔性工件的活化表面部分上方电镀属于IB族和IIIA族中的一个的金属而形成第一层前体堆垛；第一清洁单元，用于清洁在第一电镀单元中沉积的第一层；第二电镀单元，用于通过当连续柔性工件前进经过第二电镀单元时在第一层上方电镀属于IB族和IIIA族中的另一个的另一金属而形成第二层前体堆垛，同时在第一电镀单元中继续将第一层电镀在连续柔性工件的表面的一随后活化表面部分上，其中，第一层与第二层不同；第二清洁单元，用于清洁在第二电镀单元中沉积的第二层；以及运动组件，用于保持和使得连续柔性工件线性运动通过系统的单元，其中，运动组件包括：供给卷轴，用于打开和将连续柔性工件的未处理部分供给系统中；以及卷取卷轴，用于接收处理后的部分，并使它们卷绕。