[发明专利]用于将薄片应用到基板的方法和设备

摘要

本发明提供了一种以无应力和更小畸变的方式将薄片层叠到基板的方法和设备。该方法包括提供薄片和基板，使得在该薄片和基板之间存在吸引力，至少当基板和薄片的距离短于临界距离时，该吸引力能够使该薄片和表面结合在一起。该方法通过在薄片和基板之间局部地形成初始接触而产生这些条件，使得在基板和薄片接触的区域以及基板和薄片不接触的区域之间的边界，即接触前缘，存在这些条件。在另一步骤中，薄片和基板允许逐渐形成接触，使得接触前缘或者沿着基板或者沿着薄片表面前进，籍此增大基板和薄片之间的接触区域。当在压印光刻或者模压工艺或者特征图案需要从基板转印到表面或者从表面转印到基板的其它过程中，该方法是有利的。

主权项

1. 用于建立基板的第一表面和薄片的第二表面之间的接触的方法，该方法包括如下步骤：-提供该基板和该薄片；-提供在该基板和该薄片之间形成吸引力的力产生装置，当该第一表面和该第二表面之间的第一距离小于阈值距离时，该吸引力能够使该第二表面和该第一表面的至少部分相互靠近；-建立该第一表面和该第二表面的第一区域之间的初始接触，同时防止在该第一表面和该第二表面的第二区域之间建立另一个接触，藉此该第一区域和该第二区域通过接触前缘分离并由此形成该第一距离；-通过允许该接触前缘沿着该第一表面在该第二区域的方向中前进，使得该前进由该吸引力决定，由此建立另一个接触。