[发明专利]高产量串行晶片处理终端站

摘要

一种离子注入装置、系统与方法，用于在真空与大气压力之间传送多个工件，其中，对准机构可经操作而对准多个工件，以便同时搬运至一个双工件装载闭锁室。对准机构包括识别装置、升降机及用于支撑两个工件的两个垂直对准的工件支架。第一与第二大气环境机器人设置为在装载闭锁模组、对准机构与前开口式统一标准容器(FOUP)之间一次大致同时移动两个工件。第三与第四真空环境机器人设置为在装载闭锁模组与加工模组之间一次传送一个工件。

主权项

1. 一种工件处理系统，包括：工件运送容器，其设置为支撑多个工件；前端组件，与所述工件运送容器选择性接合，其中，所述前端组件包括：第一机器人，其具有可操作地与其连接的第一双工件处理臂；第二机器人，其具有可操作地与其连接的第二双工件处理臂；及对准机构，大致设置于所述第一机器人与第二机器人之间，其中，所述对准机构包括识别装置及两个或更多个垂直对准的工件支架，所述工件支架设置为分别地支撑所述多个工件中的两个或更多个工件；真空室，包括：第三机器人，具有可操作地与其连接的第一单工件处理臂，及第四机器人，具有可操作地与其连接的第二单工件处理臂；加工组件，可操作地连接至所述真空室；第一装载闭锁室、第二装载闭锁室、第三装载闭锁室及第四装载闭锁室，其中，所述第一、第二、第三和第四装载闭锁室的每一个可操作地连接至所述前端组件和所述真空室两者，且设置为在其中支撑所述多个工件中的两个或两个以上的工件，其中：所述第一机器人设置为选择性地在工件运送容器、对准机构和第二和第四装载闭锁室之间通过所述第一双工件处理臂传送所述多个工件；第二机器人设置为选择性地在工件运送容器、对准机构和第一和第三装载闭锁室之间通过第二双工件处理臂传送所述多个工件；第三机器人设置为选择性地在第一和第三装载闭锁室和加工组件之间通过第一单工件处理臂传送所述多个工件；第四机器人设置为选择性地在第二和第四装载闭锁室和加工组件之间通过第二单工件处理臂传送所述多个工件；以及控制器，设置为选择性地在工件运送容器、对准机构、第一、第二、第三、第四装载闭锁室和加工组件之间，通过控制第一、第二、第三和第四机器人而传送多个工件。