[发明专利]用于使用弯曲支架创建通过微透镜阵列的孔的方法和设备以及由此制造的产品

摘要

用于在基板的背面上的层中创建孔的方法，所述基板包括其前面上的微透镜阵列，所述方法包括：使所述基板弯曲成定义轴的圆柱状表面分段，以使得基板的前面上的微透镜阵列面向所述轴。使脉冲激光束从所述轴圆周地沿着所述圆柱状表面分段进行扫描，以穿过基板的前面上的微透镜阵列并且进入到基板的背面上的层中，从而创建孔，同时地使所述基板和/或进行扫描的脉冲激光束彼此相对地轴向转移。还公开了相关的设备和微透镜阵列产品。

主权项

1. 一种用于在基板的背面上的层中创建孔的设备，所述基板包括其前面上的微透镜阵列，所述设备包括：支架，其包括定义轴的圆柱状表面分段，其中所述圆柱状表面分段被配置为支持基板的背面上的所述层，以使得基板的前面上的所述微透镜阵列面向所述轴；扫描反射镜；脉冲激光器，其被配置为使脉冲激光束照射在所述扫描反射镜上，所述扫描反射镜被相对于所述支架而定向，以使照射到其上的脉冲激光束从所述轴圆周地沿着所述圆柱状表面分段进行扫描，以穿过基板的前面上的所述微透镜阵列并且进入基板的背面上的所述层中，以创建所述孔；以及线性转移器，其被配置为使所述支架和/或所述扫描反射镜彼此相对地轴向、线性地转移，以便轴向地转移沿着所述圆柱状表面分段圆周地扫描的所述脉冲激光束。