[发明专利]用于形成太阳能电池吸收体的前驱物膜的卷对卷反应

摘要

一种卷至卷快速热处理(RTP)工具，其带有多个腔用于通过使连续柔性工件上的前驱物层反应而形成太阳能电池吸收体。所述RTP工具包含细长壳体，所述细长壳体具有带预定温度分布的加热腔、供应腔和接收腔。所述加热腔包含小的处理间隙，在该处理间隙中所述前驱物层与VIA族材料反应以形成吸收体层。所述连续柔性工件从供应腔退绕并进给至加热腔，以及经处理的连续柔性工件在接收腔中被拾取与卷起。

主权项

1.一种集成式的卷至卷快速热处理(RTP)工具，其用于通过使连续柔性工件的表面上的前驱物层反应而形成太阳能电池吸收体，所述工具包括：细长的壳体，其包含密封的公共腔，所述公共腔包含加热腔、供应腔、以及接收腔，其中：所述加热腔限定有狭窄的处理间隙，所述狭窄的处理间隙将预先设定的温度分布施加至所述连续柔性工件的处于该狭窄的处理间隙内的部分上，其中所述狭窄的处理间隙由形成开口的顶壁、底壁和侧壁所限定，其中所述开口的高度显著小于其宽度，并且所述加热腔具有加热腔输入开口和加热腔输出开口；所述供应腔容纳所述连续柔性工件的供应辊，并且具有供应腔开口，其中，所述供应腔开口与所述加热腔输入开口对准，所述连续柔性工件设置成从所述供应腔进入所述加热腔；所述接收腔容纳接收辊以从所述加热腔收集所述连续柔性工件，并且具有接收腔开口，其中，所述接收腔开口与所述加热腔输出开口对准，所述连续柔性工件设置成从所述加热腔进入所述供应腔；以及移动机构，其在所述公共腔内保持所述连续柔性工件，并且通过将所述连续柔性工件的从所述供应辊上事先退绕的部分送进、并通过拾取所述连续柔性工件的已处理部分并将之卷绕在所述接收腔中的接收辊上，移动所述连续柔性工件使之经过所述加热腔的所述狭窄的处理间隙。