[发明专利]具有热阻挡体的热传感器有效
| 申请号： | 200780046956.3 | 申请日： | 2007-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101563592A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 威廉·莱恩;埃蒙·海因斯 | 申请（专利权）人： | 模拟装置公司 |
| 主分类号： | G01J5/06 | 分类号： | G01J5/06;H01L35/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王 萍;李春晖 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种传感器元件(105)，形成在第一衬底(110)中并具有布置在传感器元件和提供在第一衬底其他地方的热源(1215)之间的热阻挡体。该热阻挡体包括在第一衬底(110)内形成的至少一对沟槽(1205，1210)，该对沟槽的各个沟槽由腔(1220)隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 阻挡 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种热传感器，具有提供在第一衬底中的第一辐射感应元件，所述辐射感应元件提供指示该感应元件上的入射辐射强度的输出，所述传感器还包括位于第一辐射感应元件和共同位于相同的第一衬底上的热源之间的热阻挡体，所述热阻挡体包括至少一组沟槽，每组具有由腔彼此隔开的至少第一和第二沟槽。
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