[发明专利]具有致动器的微机电系统无效
| 申请号： | 200780047878.9 | 申请日： | 2007-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101568872A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | M·T·约翰逊;M·F·吉利斯;M·W·G·庞杰;J·M·J·登图恩德;R·范迪克 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02;G02B26/08;G09F9/37;G09G3/34;B01L3/00;F04B19/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 康正德;刘 红 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及微机电系统，其包括具有柔性电极单元(FE)和固定电极单元(SE)的纤毛状致动器(100)，其中根据施加于柔性和固定电极单元(SE)之间的电压(VPMA)，柔性电极单元(FE)可卷起或展开。本发明提供了能够使致动器处于介于完全卷起(UP)和完全展开(DWN)状态之间的稳定的中间状态(INT)的方法。在本发明的一个实施方式中，该方法包括向致动器施加确定电压和/或传送确定电荷。在本发明的另一实施方式中，固定电极单元(SE)由不同驱动电极(SE1，SE2)的多个节段组成，电极可被选择性地激活以将致动器(100)卷曲至期望位置。 | ||
| 搜索关键词： | 有致 微机 系统 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统，具有a)致动器(100)，包括柔性电极单元(FE)和固定电极单元(SE)，其中当向致动器施加适当的电信号时，柔性电极单元(FE)可呈现完全卷起(UP)状态和完全展开(DWN)状态；b)控制系统(ECM，LDR)，用于选择性驱动致动器到至少一个稳定中间态(INT)，这时柔性电极单元(FE)处于介于完全卷起状态和完全展开状态之间的卷曲状态。
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